随着信息产业的迅速发展，通讯设备、网络设备和个人新算机需求持续增长，大大促进了集成电路芯片市场的扩大。但是集成电路芯片在制造生产过程产生酸性气体、碱性气体、有机废气等废气污染物，这些污染物如果不经过处理而排放会对环境和人身体健康产生危害，为了减少大气污染、净化空气达标排放，因此，需要对集成电路芯片废气进行净化处理后达标排放。