集成电路是把特定电路所需的各种电子组件及线路，缩小并制作在极小面积上的一种电子产品。集成电路芯片制造主要以晶圆为基本材料，在制造过程中产生酸性气体、碱性气体、有机废气等污染物，此类污染物如果不经过净化处理而排放会对环境和人身体健康产生危害，为了减少大气污染、净化空气达标排放，因此，需要对集成电路废气进行净化处理后达标排放。