.集成电路制造行业废气简述集成电路制造行业废气主要成分是挥发性有机物VOC。集成电路芯片生产过程中使用大量的有机溶剂如清洗剂、光刻胶、剥离液、稀释液等，从而产生一定量的VOC废气，不仅造成大气污染，还可能会导致厂区环境异味，因此进行VOC废气治理后实现达标排放。