硅烷即硅与氢的化合物（SiH4），是一系列化合物的总称。硅烷因独具许多特性而广泛应用于电子、信息、能源、材料等领域，是许多未来新兴产业所必不可少的一种气体。但硅烷废气属于有毒、易燃易爆的废气，它对人身体健康有伤害，因此，企业在工业生产活动过程产生硅烷废气，为了保持良好的工作条件和防止破坏自然环境，需要对工业生产过程产生的硅烷废气进行净化处理。