半导体制造工艺中需要使用多种特殊气体、大量的酸、碱等化学品以及有机溶剂和挥发性液体，这些气体和化学品在半导体制造的不同工艺中使用，产生酸性、碱性、有机物等废气，这些废气如果没有经过处理直接排放，将造成严重的污染问题，不仅影响人们的身体健康，恶化大气环境，造成环境污染的公害事件等，因此，必须对半导体废气进行净化处理后，达到大气污染物标准排放。